陳曉娟 (作曲人)

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　　会议要求，要聚焦“两个维护”，在强化政治建设上铸魂立根。旗帜鲜明讲政治，推动基层党组织实现“五优”目标，落实“第一议题”制度，用好理论学习中心组、机关党建讲堂等载体，加强正确政绩观教育，引导党员干部深刻领悟“两个确立”的决定性意义，做到“两个维护”。要聚焦堡垒建设，在服务中心大局上提质增效。深化“六型”模范机关创建，完善机关党建“三级五岗”责任清单，推进支部标准化规范化建设；抓好党代表推选，省、市、区“两优一先”表彰对象推荐以及红色矩阵建设、“四进四助争先锋”活动、“党群连心・服务惠民”主题党日等各项工作，推动资源向发展一线集聚，促进党建与业务互融互促，取得实绩实效。要聚焦全面从严，在压实党建责任上务求实效。各级党组织书记要扛牢第一责任人职责，落实挂钩联系党支部制度，抓实党建基础保障，强化政策支持和资源倾斜，为基层党组织开展工作创造有利条件。

　　各党委书记、副书记、党办主任，基层党员干部群众代表参加会议并进行现场测评。

[摘要]数据 投篮点 实录 北京时间4月21日，NBA季后赛激战3场，其中孟菲斯灰熊主场以105-94击败圣安东尼奥马刺，将总比分扳为1-2。灰熊队此役将“黑熊”兰多夫提升进入到首发，开启了“三熊”死凿内线的进攻模式，最主要的是慢节奏+阵地战导致灰熊全场只有5次失误，...

　　北京时间4月21日，NBA季后赛激战3场，其中孟菲斯灰熊主场以105-94击败圣安东尼奥马刺，将总比分扳为1-2。灰熊队此役将“黑熊”兰多夫提升进入到首发，开启了“三熊”死凿内线的进攻模式，最主要的是慢节奏+阵地战导致灰熊全场只有5次失误，迎来了本赛季失误最少的一场比赛。

　　灰熊队的最大优势自然就是内线，主帅菲兹戴尔最大的变阵就是将“黑熊”兰多夫提升进入首发阵容，这也组成了三熊齐首发的模式。

　　兰多夫+小加索尔+康利，三位灰熊主将全部首发，而这套变阵在前三节收到了明显的效果，他们对于马刺队的内线冲击力非常凶。尤其是兰多夫，前三节13投8中，贡献了21分8篮板，三节没有失误。

　　“三熊”三节联手砍下了全队81分中的55分。很显然，灰熊三主力的攻击力是灰熊能取得18分领先优势的关键。

　　此外，菲兹戴尔还将恩尼斯提升进入了首发阵容，他也是一位身高达到了2米的球员，他的身高优势对于马刺内线也是不小的冲击。总而言之，菲兹戴尔的作战策略就是：不惜一切代价冲击马刺内线。

　　慢节奏+阵地战，每次进攻几乎全部耗时20秒，这让灰熊队前三节只有2次失误，而马刺对于激烈的身体对抗非常不适应，三节出现了11次失误，而且马刺全队进攻的模式被灰熊的身体对抗冲的支离破碎，三节只有11次助攻。

　　同样还有一个环节不容忽视。那就是灰熊队主帅菲兹戴尔之前因为抨击裁判判罚不公，被联盟罚款3万美元，第三场系列赛回到灰熊主场，菲兹戴尔进入场地时受到主场球迷的热烈欢呼，场边球迷不停挥舞经典的灰熊黄色毛巾。甚至孟菲斯当地一家公司公开表示，愿意替菲兹戴尔支付罚款金额。

　　显而易见，菲兹戴尔充分调动了孟菲斯灰熊从场内球员、到场外球迷的全部斗志，这自然激发了队员们的斗志。

　　整场比赛，灰熊队的命中率始终保持在50%以上。“三熊”全部得分超过20+，一共得到了66分。最主要的是，灰熊全队只有5次失误，这也是灰熊队本赛季单场失误最少的一场比赛。失误少，再加上50%的命中率，灰熊胜利自然水到渠成。

　　（鸾台）